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doi:10.22028/D291-24389 | Title: | ORMOCERe (ORganically MOdified CERamics) als Werkstoffe in Mikrotechniken |
| Author(s): | Kasemann, Reiner Krug, Herbert Schmidt, Helmut K. |
| Language: | German |
| Year of Publication: | 1991 |
| OPUS Source: | Werkstoffe der Mikrotechnik : Basis für neue Produkte; Tagung Karlsruhe, 24. und 25. Oktober 1991; Tagungsbericht. - Düsseldorf : VDI-Verl., 1991. — (VDI-Berichte ; 933), S. 303-312 |
| SWD key words: | Ormocer Mikrosystemtechnik Verbundwerkstoff Organischer Stoff Nichtmetallischer Werkstoff Anorganischer Werkstoff Sol-Gel-Verfahren |
| DDC notations: | 620 Engineering and machine engineering |
| Publikation type: | Conference Paper |
| Abstract: | ORMOCERe (ORganically MOdified CERamics) sind nichtmetallisch-anorganische nanoskalige Kompositwerkstoffe, die über den Sol-Gel-Prozeß durch chemische Synthesen hergestellt werden. Aufgrund der vielfältigen Variationsmöglichkeiten sind Werkstoffe mit maßgeschneiderten Eigenschaften zugänglich. Am Beispiel photostrukturierter und geprägter Schichten wird das Potential dieser Werkstoffklasse für Mikroelektronik und integrierte Optik beschrieben. |
| Link to this record: | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26885 hdl:20.500.11880/24445 http://dx.doi.org/10.22028/D291-24389 |
| ISBN: | 3-18-090933-1 |
| Date of registration: | 8-Feb-2010 |
| Faculty: | SE - Sonstige Einrichtungen |
| Department: | SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien |
| Collections: | INM SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes |
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