Modellbasierte Auswertung eines keramischen Feuchtesensors

Abstract

Ein keramischer Feuchtesensor (UST, Geschwenda) wurde bei einer Sensortemperatur von 25 °C (Raumtemperatur) im Bereich von 0 mbar bis etwa 22,2 mbar Wasserdampf-Partialdruck und bei einer Sensortemperatur von 320 °C im Bereich von 0 mbar bis etwa 426 mbar Partialdruck mittels Impedanzspektroskopie untersucht. Die Spektren wurden anschließend mittels eines elektrischen Ersatzschaltbildes (EES) gefittet. Die extrahierten Bauelemente des Ersatzschaltbilds wurden als Merkmale für eine Partial Least Squares Regression (PLSR) verwendet, um ein lineares Modell zur Quantifizierung des Feuchtegehalts in Luft zu erhalten.