Bitte benutzen Sie diese Referenz, um auf diese Ressource zu verweisen: doi:10.22028/D291-24567
Titel: SiO2-Glassschichten auf Si-Wafern für optische Komponenten
Verfasser: Mennig, Martin
Gier, Andreas
Berni, Anette
Schmidt, Helmut K.
Sprache: Deutsch
Erscheinungsjahr: 1997
Quelle: Kurzreferate / 71. Glastechnische Tagung, Bayreuth vom 26. bis 28. Mai 1997 / Deutsche Glastechnische Gesellschaft e.V. - Frankfurt/Main, 1997, S. 93-96
SWD-Schlagwörter: Wafer
Glas
DDC-Sachgruppe: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Dokumentart : InProceedings (Aufsatz / Paper einer Konferenz etc.)
Kurzfassung: -
Link zu diesem Datensatz: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-28749
hdl:20.500.11880/24623
http://dx.doi.org/10.22028/D291-24567
SciDok-Publikation: 14-Mai-2010
Fakultät: Sonstige Einrichtungen
Fachrichtung: SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien
Fakultät / Institution:INM
SE - Sonstige Einrichtungen

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