@conferenceObjectPart{MennigGierBerniSchmidt_1997, title={SiO2-Glassschichten auf Si-Wafern für optische Komponenten}, author={Mennig, Martin and Gier, Andreas and Berni, Anette and Schmidt, Helmut K.}, doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-24567}, year={1997} }