Bitte benutzen Sie diese Referenz, um auf diese Ressource zu verweisen: doi:10.22028/D291-24382
Titel: Inorganic-organic composites (ORMOCERs) as structured layers for microelectronics
Verfasser: Popall, Michael
Meyer, Henning
Schmidt, Helmut K.
Schulz, Jochen
Sprache: Englisch
Erscheinungsjahr: 1990
Quelle: Better ceramics through chemistry IV : symposium held April 16 - 20, 1990, San Francisco, California, U.S.A / ed.: Brian J. J. Zelinski … - Pittsburgh, Pa. : Materials Research Soc., 1990. — (Materials Research Society symposium proceedings ; 180), S. 995-1001
SWD-Schlagwörter: Ormocer
Copolymere
Sol-Gel-Verfahren
Mikroelektronik
Photopolymerisation
Epoxide
DDC-Sachgruppe: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Dokumentart : InProceedings (Aufsatz / Paper einer Konferenz etc.)
Kurzfassung: Enhanced integration, faster signal transmission and reduced size of mounting devices in components for microelectronics requires new patternable materials. Inorganic-organic copolymers (ORMOCERs = ORganically MOdified CERamics), prepared by sol-gel techniques have been developed for interconnection technologies in microelectronics. Photopolymerization is enabled by unsaturated hydrocarbon or epoxide substituents and UV-sensitive initiators. Using a frequency doubled Argon-ion laser at 257 nm for direct laser writing, patterned layers with high edge quality have been realized. In combination with high breakthrough voltages, low permittivity constants and high bulk resistivities they open interesting aspects for very large system integration techniques (VLSI).
Link zu diesem Datensatz: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26792
hdl:20.500.11880/24438
http://dx.doi.org/10.22028/D291-24382
ISBN der Druckausgabe: 1-558-99069-0
SciDok-Publikation: 5-Feb-2010
Fakultät: Sonstige Einrichtungen
Fachrichtung: SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien
Fakultät / Institution:INM
SE - Sonstige Einrichtungen

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