Please use this identifier to cite or link to this item:
doi:10.22028/D291-24352 | Title: | Sol-Gel-Techniken für neue Materialien der Mikrotechnik |
| Author(s): | Schmidt, Helmut K. |
| Language: | German |
| Year of Publication: | 1989 |
| OPUS Source: | Werkstoffe der Mikrotechnik : Basis für neue Produkte; Tagung Berlin, 12. und 13. Oktober 1989. - Düsseldorf : VDI-Verl., 1989. — (VDI-Berichte ; 796), S. 51-70 |
| SWD key words: | Mikrosystemtechnik Sol-Gel-Verfahren Keramischer Werkstoff Chemische Synthese Keramikpulver Photolithographie |
| DDC notations: | 620 Engineering and machine engineering |
| Publikation type: | Conference Paper |
| Abstract: | Der Sol-Gel-Prozeß ist ein Weg zur Herstellung von Gläsern, keramischen Werkstoffen und anorganisch-organischen Kompositen über chemische Synthesen. Es können komplexe Zusammensetzungen präpariert werden, und es sind Zwischenstufen herstellbar, die zu feinen Pulvern, Schichten und Fasern weiterverarbeitet werden können. In Verbindung mit neuen Formgebungstechniken, wie z.B. Prägen oder photolithographischen Verfahren, stellt der Prozeß ein sehr interessantes Potential für die Mikrotechnik dar, das noch lange nicht ausgeschöpft ist. |
| Link to this record: | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26468 hdl:20.500.11880/24408 http://dx.doi.org/10.22028/D291-24352 |
| ISBN: | 3-18-090796-7 |
| Date of registration: | 20-Jan-2010 |
| Faculty: | SE - Sonstige Einrichtungen |
| Department: | SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien |
| Collections: | INM SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes |
Files for this record:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| sm198908.pdf | 1,36 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in SciDok are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.