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Titel: New materials by the sol-gel process and their potential for microelectronic application
Sonstige Titel: Neue Werkstoffe über den Sol-Gel-Prozeß und ihre Anwendungsmöglichkeiten für die Mikroelektronik
Verfasser: Schmidt, Helmut K.
Sprache: Englisch
Erscheinungsjahr: 1988
Quelle: DVS- Berichte. - 110. 1988, S. 54-56
SWD-Schlagwörter: Werkstoff
Sol-Gel-Verfahren
Mikroelektronik
Anorganische Polymere
Homogenität
Reinheit
Flüssiger Zustand
Viskosität
DDC-Sachgruppe: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Dokumentart : Journalartikel
Kurzfassung: Der Sol-Prozess ermöglicht die Herstellung von kermaischen Werkstoffen, Gläsern und anorganisch-organischen Polymeren mit besonderen Eigenschaften (zum Beispiel Reinheit, Homogenität). Aufgrund der speziellen Reaktionsführung lassen sich flüssige oder gelöste Phasen als Zwischenstufen herstellen, deren Viskosität beschichtungstechnischen Problemen angepasst werden kann (z.B. spin-on coating, tape casting). Für den Bereich der Mikroelektronik ergibt sich ein interessantes Potential an Werkstoffentwicklungen, dessen volle Breite erst die zukünftigen Entwicklungen zeigen müssen. Einsatzfelder werden gesehen für Substratmaterialien, photostrukturierbare Materialien, Passivierungs- und Verpackungssysteme, Sensoren bzw. andere aktive Komponenten.
Link zu diesem Datensatz: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26154
hdl:20.500.11880/24375
http://dx.doi.org/10.22028/D291-24319
SciDok-Publikation: 29-Dez-2009
Fakultät: Sonstige Einrichtungen
Fachrichtung: SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien
Fakultät / Institution:INM
SE - Sonstige Einrichtungen

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