@article{Schmidt_1988,
title={New materials by the sol-gel process and their potential for microelectronic application},
author={Schmidt, Helmut K.},
doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-24319},
subtitle={Neue Werkstoffe über den Sol-Gel-Prozeß und ihre Anwendungsmöglichkeiten für die Mikroelektronik},
year={1988}
}