Bitte benutzen Sie diese Referenz, um auf diese Ressource zu verweisen: doi:10.22028/D291-38168
Titel: Toward wafer-scale diamond nano- and quantum technologies
VerfasserIn: Nelz, Richard
Görlitz, Johannes
Herrmann, Dennis
Slablab, Abdallah
Challier, Michel
Radtke, Mariusz
Fischer, Martin
Gsell, Stefan
Schreck, Matthias
Becher, Christoph
Neu, Elke
Sprache: Englisch
Titel: APL Materials
Bandnummer: 7
Heft: 1
Verlag/Plattform: AIP Publishing
Erscheinungsjahr: 2019
DDC-Sachgruppe: 500 Naturwissenschaften
Dokumenttyp: Journalartikel / Zeitschriftenartikel
Abstract: We investigate native nitrogen vacancy (NV) and silicon vacancy (SiV) color centers in a commercially available, heteroepitaxial, wafer-sized, mm thick, single-crystal diamond. We observe single, native NV centers with a density of roughly 1 NV per µm3 and moderate coherence time (T2 = 5 µs) embedded in an ensemble of SiV centers. Using low temperature luminescence of SiV centers as a probe, we prove the high crystalline quality of the diamond especially close to the growth surface, consistent with a reduced dislocation density. Using ion implantation and plasma etching, we verify the possibility to fabricate nanostructures with shallow color centers rendering our material promising for fabrication of nanoscale sensing devices. As this diamond is available in wafer-sizes up to 100 mm, it offers the opportunity to up-scale diamond-based device fabrication.
DOI der Erstveröffentlichung: 10.1063/1.5067267
URL der Erstveröffentlichung: https://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.5067267
Link zu diesem Datensatz: urn:nbn:de:bsz:291--ds-381681
hdl:20.500.11880/34460
http://dx.doi.org/10.22028/D291-38168
ISSN: 2166-532X
Datum des Eintrags: 23-Nov-2022
Bezeichnung des in Beziehung stehenden Objekts: Supplementary Material
In Beziehung stehendes Objekt: https://aip.scitation.org/doi/suppl/10.1063/1.5067267/suppl_file/supplementary.pdf
Fakultät: NT - Naturwissenschaftlich- Technische Fakultät
Fachrichtung: NT - Physik
Professur: NT - Prof. Dr. Christoph Becher
Sammlung:SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes

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