Bitte benutzen Sie diese Referenz, um auf diese Ressource zu verweisen: doi:10.22028/D291-24400
Titel: Fine patterning of thin sol-gel films
Verfasser: Krug, Herbert
Merl, Norbert
Schmidt, Helmut K.
Sprache: Englisch
Erscheinungsjahr: 1992
Quelle: Journal of non-crystalline solids. - 147/148. 1992, S. 447-450
SWD-Schlagwörter: Dünne Schicht
Sol-Gel-Verfahren
Prägen
Ormocer
DDC-Sachgruppe: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Dokumentart : Journalartikel
Kurzfassung: An embossing technique was used to fabricate surface reliefs in organically modified ceramics of the Ormocer type, synthesized via the sol-gel route. Embossing techniques for these materials are described and results of embossed grids and gratings with up to 2400 lines/mm and peak-to-trough values up to 3 µm are presented.
Link zu diesem Datensatz: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-27054
hdl:20.500.11880/24456
http://dx.doi.org/10.22028/D291-24400
SciDok-Publikation: 17-Feb-2010
Fakultät: Sonstige Einrichtungen
Fachrichtung: SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien
Fakultät / Institution:INM
SE - Sonstige Einrichtungen

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