Herstellung keramischer Schichten über den Sol-Gel-Prozeß

Abstract

Schichten von keramischen Materialien auf verschiedenen Substraten sind von großem Interesse für verschiedene technische Anwendungen, wie z.B. Korrosionsschutzschichten, funktionelle Beschichtungen (Elektrokeramik, Hartbeschichtungen, antiabrasive Beschichtungen, Oxidationsschutz) oder sogar auch dekorative Beschichtungen. Allerdings begrenzen hohe Sintertemperaturen häufig die Einsatzmöglichkeiten. CVD- und PVD-Verfahren, bei denen die Substrattemperaturen relativ niedrig gehalten werden können, bieten hier eine gute Alternative, bereiten jedoch bei Mehrkomponentensystemen Probleme. Eine interessante Möglichkeit, besonders im Hinblick auf die Anwendung mehr herkömmlicher Beschichtungstechniken, bietet der Sol-Gel-Prozeß [1], da man von einer flüssigen Phase ausgehen und Techniken wie Tauchen, Schleudern etc. anwenden kann.