@conferenceObjectPart{MennigGierBerniSchmidt_1999,
title={Entwicklung von passiven und aktiven, planaren SiO2 Wellenleitern auf Silicium mittels rapid thermal annealing},
author={Mennig, Martin and Gier, Andreas and Berni, Anette and Schmidt, Helmut K.},
doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-24649},
year={1999}
}