@doctoralThesis{Bender_2010, title={Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)}, author={Bender, Michael}, doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-24609}, subtitle={Synthesis of novel single-source precursors for the chemical vapor deposition (CVD) of lead zirconate titanate (PZT)}, year={2010} }