@conferenceObjectPart{De Albuquerque Barros FilhoAegerter_1993, title={Determinação do perfil de tensão em filmes finos por microelipsometria}, author={De Albuquerque Barros Filho, D. and Aegerter, Michel A.}, doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-24110}, subtitle={Stress profile determination of thin films by microellipsometry}, year={1993} }