@doctoralThesis{Schwarz_2014,
title={Untersuchung der gasart- und spaltabhängigen Dämpfungseigenschaften mikromechanischer Resonatoren von der Molekular- bis zur Kontinuumsströmung},
author={Schwarz, Patrick},
doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-22995},
subtitle={Investigations on gas- and airgap-specific damping behaviour of micromechanical resonators from molecular to viscous flow},
year={2014}
}