@doctoralThesis{Dufloux_2012, title={Vergleich zweier chemischer Gasphasenabscheidungsprozesse mit den Precursoren [H2AlOtBu]2 und [Cl2AlH*2nmp]}, author={Dufloux, Cecile}, doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-22845}, subtitle={Comparison of two chemical vapour deposition process with the precursors [H2AlOtBu]2 and [Cl2AlH*2nmp]}, year={2012} }