@doctoralThesis{Rügamer_2011,
title={Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung},
author={Rügamer, Thomas},
doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-22843},
subtitle={Process development for the fabrication of tin oxide and zirconium oxide coatings by plasma enhanced chemical vapour deposition},
year={2011}
}