@doctoralThesis{Schwarz_2008, title={Schwingungsanregung von Sensorbalken in der akustischen Rasterkraftmikroskopie durch Raumladungszonen und Prüfung von dünnen piezoelektrischen Filmen mittels Ultraschall-Piezomode im Hochdurchsatz}, author={Schwarz, Kerstin}, doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-22443}, subtitle={Method to excite vibrations of AFM cantilevers by a depletion layer and investigation of thin piezoelectric films in high-throughput by ultrasonic piezomode}, year={2008} }