@doctoralThesis{Kuhn_2007,
title={Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma CVD Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe},
author={Kuhn, Patrick},
doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-22392},
subtitle={Deposition of titanium-oxygen-nitrogen films in a  plasma CVD process by implementation of metal-organic precursor},
year={2007}
}