@doctoralThesis{Petersen_2007, title={Mikro- und nanostrukturierte Schichten mittels Gasphasenabscheidung von [H2AlOtBu]2 für den Einsatz in der Nanobiotechnologie}, author={Petersen, Christian}, doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-22390}, subtitle={Micro- and nanostructured films by chemical vapor deposition of [H2AlOtBu]2, to be used in nanobiotechnology}, year={2007} }