@doctoralThesis{Merten_2005,
title={Verbesserung der Ausbildung in der Mikrosystemtechnik — virtuelle Labore bereiten auf die Herstellung realer Drucksensoren vor},
author={Merten, Sabine},
doi={http://dx.doi.org/10.22028/D291-22316},
subtitle={Improvement of the education in micro system technology — virtual technology laboratories prepare for the hands-on manufacturing of pressure sensors},
year={2005}
}